北京怀柔实验室2023年第二批科研设备采购项目评标结果公示公告
北京
-怀柔区
业主单位
【中国国际招标网】
项目名称：北京怀柔实验室 2023年第二批科研设备采购项目
招标项目编号：1495-234thhrlab02/05
招标范围：产品名称：ICP金属刻蚀机数量：1台简要技术规格：ICP金属刻蚀机，是一种半导体芯片加工设备，具体规格如下：1）ICP金属刻蚀机1台，兼容6英寸晶圆，晶圆厚度500微米~1800微米；2）用于铝、钛、镍、银等金属的刻蚀；3）刻蚀厚度10微米以上，不均匀性小于等于5%。
招标机构：天恒招标有限公司
招标人：北京怀柔实验室
开标时间：2023-06-08 09:30
公示开始时间：2023-06-12 18:45
评标公示截止时间：2023-06-15 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | 需解锁 | 北方华创 | 中国 |
| 2 | 需解锁 | 需解锁 | 中国 |
| 3 | Toreach Limited | SPTS | 英国 |
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