电力能源招标网

日   期：2023年 6 月 30 日

招标编号：0722-234FE3428CQF

项目名称：高精度膜厚测试仪（重新招标）

受中电科芯片技术（集团）有限公司委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023年 6 月 30 日发布招标公告。本次招标采用国际公开招标方式。

1. 招标条件

1.1 项目概况：高精度膜厚测试仪1台。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2. 招标内容

2.1交货地点：中国电子科技集团公司第26研究所所区

2.2用途说明：高精度膜厚测试仪主要用于SAW金属薄膜(AL、Cu、Au、Cr等)、氧化膜（SIO2、SiN）、以及光刻胶厚度等材料的全自动膜厚测试，能实现晶圆上不同芯片位置自动定位、编程进行准确、方便、快捷膜厚测试，适合批生产的在线控制，是生产过程中膜厚准确性和重复性监控的不可缺少的检测手段，具备图形自动识别、机械手传片等功能。

系统主要由传送模块、光学系统、系统、检测控制软件、数据客制化输入输出及防震台等组成，适用于高洁净度环境。

2.3 交货时间：合同生效后360天。

3. 投标人资格要求

3.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

3.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

3.3本次招标不接受联合体投标。

3.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

4. 招标文件的领购

4.1 招标文件领购开始时间：2023年 6 月 30 日。

4.2 招标文件领购结束时间：2023年 7 月 7 日。

4.3 招标文件领购地点：重庆市江北区五里店嘉景园B座14-1。

4.4 招标文件售价：500人民币/套。

5. 投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2023年 7 月 21 日9：00 分,投标文件递交时间：2023年 7 月 21 日8：30分－2023年 7 月 21 日9 ：00 分。

5.2 投标文件送达地点：重庆市沙坪坝区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

5.3 开标地点：重庆市沙坪坝区西永大道36号圣荷酒店八楼807会议室

6. 发布公告的媒体

本项目公告在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台”上发布，投标人在投标前需在中国国际招标网上完成注册，中标情况将在《中国国际招标网》、中国电科电子采购平台”上公布。

7. 联系方式

招标人：中电科芯片技术（集团）有限公司

地址：重庆市西永大道23号

联系人：吴勇

电话：

招标机构：

地址：重庆市江北区五里店嘉景园B座14-1

联系人：王静

电话：、

传真：

电子邮箱：

8. 其他补充说明

投标保证金接收银行账户信息：

开户名称：

银行帐号：6232 8100 1000 0201 014

开户行：中国建设银行股份有限公司北京玉泉支行

行号：105100006030