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燕东科技12吋匀胶显影设备采购评标结果公示公告

北京

发布时间:2023-09-11
评标公告

业主单位
北京燕东微电子科技有限公司

项目名称:燕东科技12吋匀胶显影设备采购
招标项目编号:0610-2340IH011069
招标范围:1 抗反射层涂胶机 2台 该设备主要用于BARC匀胶工艺 2 KrF涂胶显影机 2台 该设备主要用于配合KrF光刻机完成匀胶和显影工艺 3 I-Line涂胶显影机 4台 该设备主要用于配合I-Line光刻机完成匀胶和显影工艺 4 刷片清洗机 1台 该设备主要用于硅片刷洗工艺
招标机构:北京国际招标有限公司
招标人:北京燕东微电子科技有限公司
开标时间:2023-09-08 10:00
公示开始时间:2023-09-11 16:52
评标公示截止时间:2023-09-14 23:59
中标候选人名单:

候选人排名 投标商名称 制造商 制造商国别及地区
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