润西微电子（重庆）有限公司DRYETCHLAMTOOLService公告
重庆
询价采购
业主单位
采购 公告
公告编号： DZXYGG202505260013
一、采购项目基本情况
采购人：润西微电子（重庆）有限公司
采购项目编号：DZCGXY202505260009
采购项目名称：DRY ETCH LAM TOOL Service
采购内容或范围：
二、供应商资格要求
1. 资格:1、 业绩要求：
a) 2023年至今有12吋晶圆制造厂，LAM2300系列机台（包括Kiyo45，Flex45，Metal，Metal45）Trouble Shooting服务，机台翻新订单，不包含PM或更换零备件服务，需提供人力服务订单或者合同，作为业绩佐证
2、 人员资质要求
a) 至少1人有LAM2300系列机台设备工艺维护相关经验10年以上，需提供履历承诺函，并盖公司印章，作为佐证。
b) 至少3人有LAM2300系列机台设备工艺维护相关经验5年以上，其中至少1人具备工艺调试相关经验5年以上，需提供履历承诺函，并盖公司印章，作为佐证。
c) 现场工程师必须具备LAM2300系列机台设备工艺维护相关经验5年以上，入厂前需提交其履历承诺函，并盖公司印章，由我司确认后方可入厂。
3、 备件库存率要求
a) LAM2300系列机台国内零备件率>90%，包括耗材和非耗材，含贵重部件如：RFG/Match等RF Loop备件，ATM/VTM Robot等传送部件，Turbo Pump，阀件等真空部件，DC电源/PCB，需提供库存清单，或备件机台照片及序列号并盖公司印章，作为佐证。