华东理工大学干法刻蚀系统采购项目 - 国际招标公告 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2025-06-11在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1、招标条件

项目概况:实现MEMS智能传感器开发中环境与生化检测需求，完成大量微纳尺度硅基材料与介质薄膜的高精度刻蚀加工任务。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备

2、招标内容

招标项目编号:1069-254Z20252287/03
招标项目名称:华东理工大学干法刻蚀系统采购项目
项目实施地点:中国上海市

招标产品列表(主要设备):

	序号产品名称数量简要技术规格				备注
			干法刻蚀系统1套*平行板式电极，下电极尺寸≥240mm，可处理8英寸及8英寸以下的样品预算金额：

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩:1） 投标人或制造商（如适用）有效的营业执照2） 本次招标所涉及到的产品若非自主研发生产，投标人须提供制造商针对本项目的授权书3）参加本次招标活动前3年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录；
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2025-06-11
招标文件领购结束时间:2025-06-18
是否在线售卖标书:否