高深宽比介质刻蚀机 - 国际招标澄清或变更公告(1)

对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于 $2 0 2 5 -$ 08-25在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

1、招标条件

项目概况:1)设备名称:高深宽比介质刻蚀机

2)数量:1台
3)设备原理及用途:
基本原理:在射频电压的作用下,碳氟类气体产生的等离子体,和二氧化硅反应生成SiF4,生成物被抽出腔体最终达到刻蚀的目的。
用途:主要用于高深宽比介质刻蚀工艺。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备

2、招标内容

招标项目编号:0664-2540SUMECA83/18
招标项目名称:高深宽比介质刻蚀机
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):

	序号产品名称	数量简要技术规格
	高深宽比介质刻蚀机1		该设备主要由主控制系统,全自动传输系统,1个刻蚀工艺腔,尾气处理系

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩: $\textcircled{1}$ 投标人如为境内企业,提供企业法人营业执照或事业单位法人证书,如为境外企业提供企业注册登记证。

$\textcircled{2}$ 投标人可以是设备制造厂家,也可以是设备授权代理商,代理商需有设备原厂家的有效授权书。$\textcircled{3}$ 投标人开户行开具的,出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
$\textcircled{4}$ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力(提供相关证明材料或承诺书,承诺书格式自拟)。
$\textcircled{5}$ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2025-08-04
招标文件领购结束时间:2025-08-11
是否在线售卖标书:否