中国科学院半导体研究所锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统采购项目中标公告
北京
一、项目编号：OITC-G250570457 （招标文件编号：OITC-G250570457）
二、项目名称：中国科学院半导体研究所锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统采购项目
三、中标（成交）信息
供应商名称：需解锁
供应商地址：北京市通州区玉桥北里47号1层A1182号
中标（成交）金额：289.6000000（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 需解锁 | 锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统 | 北方华创 | GDE C200L | 1套 | ￥2,896,000.00 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
王波（评审组长）、郭奋、劳文艳、张丽霞、吴东海
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：[2002]1980号文件
本项目代理费总金额：3.585600 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
本项目采用综合评分法，中标供应商的评审总得分91.80分。
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院半导体研究所
地址：北京市海淀区清华东路甲35号
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