电力能源招标网

日期: 2025 年 10 月 10 日

招标编号: 3732-25426HW06001 ( 2025SG-26HW06-0020)

日期: 2025 年 10 月 10 日

招标编号: 3732-25426HW06001(2025SG-26HW06-0020)

项目名称:带磁控沉积的离子束刻蚀机采购 受 深圳国际量子研究院 委托对下列产品及服务进行国际公开招标,于 2025 年 10 月 10 日 发布招标公告。本次招标采用公开招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

1.1 项目概况:购置 带磁控沉积的离子束刻蚀机采购 1套 。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:资金已落实

1.3 项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件

2. 招标内容

2.1 项目实施地点:广东省深圳市

2.2 招标产品列表:

序号	产品名称	主要技术参数	数量	交货时间
1	带磁控沉积的离子束刻蚀机采购	*最大样品尺寸直径6英寸,兼容4英寸 (载盘式设计) 刻蚀速率 ≥ 15 nm/min(6寸晶圆,SiO2膜) *刻蚀均匀性≤ 3 % 6寸晶圆,SiO2膜, (max - min)/(2 x mean)) *设备采用2.45GHz微波离子源 *离子束有效束径190mm *真空腔室带HIDEN Analytical Ltd. SIMS终点检测装置,设备具有相应的法兰接口 *真空腔室带磁控溅射源接口 *工件台倾斜角度可调,调节范围0-160度,控制精度+/-0.1° *磁控溅射源安装在腔室顶部,用于介质的镀膜工艺,做原位侧壁保护	1 套	合同生效后 52 周内

2.3 简要技术规格:具体详见第八章 “货物需求一览表及技术规格”。

3. 投标人资格要求

3.1 投标人应具备的资格或业绩:详见投标资料表。

3.2 是否接受联合体投标:详见投标资料表。

3.3 未在登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。

3.4 未在本项目投标截止时间前,在中国国际招标网( )成功注册的投标人,不得参加投标。

4. 招标文件的领购

4.1 招标文件领购开始时间: 2025 年 10 月 10 日 (节假日除外)上午 9 时 00 分至 11 时 3 0 分,下午 13 时 30 分至 17 时 00 分(北京时间)

4.2 招标文件领购结束时间: 2025 年 10月17 日 17 时 00 分(北京时间)

4.3 招标文件领购地点:本项目采用线上发售招标文件方式,详见招标机构网站( )

4 .4 招标文件售价:本招标文件每包售价为 1000 元人民币或 150 美元,售后不退。

5. 投标文件的递交

5.1 投标截止时间(开标时间): 2025 年 10月31 日 10 时 3 0 分(北京时间)

5.2 投标文件送达地点: 深圳国际量子研究院(深圳市福田区福田保税区槟榔道 10 号深圳国际量子研究院 604 )

5 .3 开标地点: 深圳国际量子研究院(深圳市福田区福田保税区槟榔道 10 号深圳国际量子研究院 604 )

6. 发布公告的媒体

6.1 本公告同时在《中国国际招标网》、《中国招标投标公共服务平台》上发布。 投标人在投标前应在必联网( )或机电产品招标投标电子交易平台( )完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和中国国际招标网公示。

7. 联系方式

招标人:深圳国际量子研究院

地址:深圳市福田区福田保税区槟榔道 10 号

联系人:

联系方式: -8216

招标机构:

地址:深圳市南山区桃源街道学苑大道 U 创大厦东座 212 室

邮编: 518000

联系人:

电话:

电子邮箱:

8. 其他补充说明

8 .1 账号信息

人民币账户:

开户名称:

人民币账户信息(仅接收人民币用):

银行帐号:81103010(Swift code: CIBKCNBJ518)

开户银行:中信银行深圳香蜜湖支行

美元账户信息(仅接收美元用):

银行帐号:753676346502(Swift Code:BKCHCNBJ45A)

**开户行:中国银行深圳文锦渡支行